樣品表面污染會(huì)顯著影響掃描電鏡（SEM）成像質(zhì)量，具體表現(xiàn)和影響如下：

1. 圖像分辨率下降

污染層可能遮蓋住樣品的真實(shí)微觀結(jié)構(gòu)，使電子束無(wú)法準(zhǔn)確聚焦在目標(biāo)區(qū)域，從而導(dǎo)致圖像模糊、細(xì)節(jié)丟失。

2. 偽影與噪聲增加

污染物在電子束轟擊下可能產(chǎn)生次級(jí)電子、X 射線或帶電荷積累，導(dǎo)致圖像中出現(xiàn)非真實(shí)結(jié)構(gòu)的明暗條紋、亮斑或陰影。

3. 充電效應(yīng)加重

污染層通常為非導(dǎo)電材料，容易引起電子束照射區(qū)域的電荷積累，造成：

圖像漂移

像素扭曲

明暗不均

4. 成分分析失真

在進(jìn)行能譜（EDS）分析時(shí)，污染層會(huì)引入額外元素信號(hào)，干擾對(duì)樣品真實(shí)成分的判斷。

5. 電子束誘導(dǎo)污染加劇

污染層可能在高劑量電子束照射下發(fā)生聚合或熱分解，形成更厚的碳沉積物或其他反應(yīng)產(chǎn)物，進(jìn)一步惡化成像質(zhì)量。

應(yīng)對(duì)措施建議：

使用等離子體或紫外清洗樣品，去除表面有機(jī)污染。

使用高真空或低劑量條件，避免污染擴(kuò)散。

保持手套、鑷子和樣品盒潔凈，避免人為污染。

若已成像污染嚴(yán)重，可更換觀測(cè)區(qū)域或重新制備樣品。