掃描電鏡（SEM）能看到的最小結(jié)構(gòu)，取決于顯微鏡的類(lèi)型、電子槍性能、探測(cè)器類(lèi)型以及樣品制備情況。

1. 常規(guī)鎢燈絲 SEM

分辨率大約在 3–5 nm 左右

適合觀察微米到幾十納米的結(jié)構(gòu)

2. 場(chǎng)發(fā)射 SEM

分辨率可達(dá)到 1–2 nm（有些型號(hào)能到 0.5 nm）

適合觀察幾十納米以下的精細(xì)結(jié)構(gòu)，比如納米顆粒、納米線(xiàn)、薄膜表面細(xì)節(jié)

3. 實(shí)際限制因素

即便顯微鏡本身分辨率很高，以下因素也可能讓你“看不到那么小”：

樣品帶電（非導(dǎo)電樣品沒(méi)有鍍膜處理時(shí)）

表面污染（油污、真空油蒸發(fā)、樣品老化）

振動(dòng)與漂移（納米級(jí)放大時(shí)，機(jī)械和熱漂移影響很大）

電子束損傷（有機(jī)物或敏感材料會(huì)被燒蝕）

4. 對(duì)比

如果只是看微米級(jí)紋理，普通 SEM 足夠了。

如果要看納米級(jí)晶粒邊界或細(xì)微臺(tái)階，建議用場(chǎng)發(fā)射 SEM 并做好高質(zhì)量制樣。