掃描電鏡成像為什么有亮暗對比?
日期:2025-08-22
亮暗對比是掃描電鏡(SEM)圖像基本的特征之一。亮暗對比的形成,主要來自樣品表面與電子束相互作用后信號的差異??梢詮膸讉€方面理解:
1. 材料成分差異
不同元素的原子序數(shù)不同,對入射電子的散射和能量損失程度不同。
原子序數(shù)高的區(qū)域(比如金、鉑等重元素)會產(chǎn)生更強的背散射電子信號,圖像上顯得更亮。
原子序數(shù)低的區(qū)域(如碳、氧等輕元素)背散射電子少,看起來更暗。
這就是所謂的 成分對比。
2. 表面形貌差異
表面形貌會影響二次電子的發(fā)射量。
當表面有 凸起、銳利邊緣 時,二次電子容易逃逸出來,信號更強,局部顯得更亮。
在 凹陷或陡峭谷底,電子容易被重新吸收或難以逸出,信號減弱,圖像就暗。
這就是 形貌對比,通常用二次電子像來體現(xiàn)。
3. 樣品電荷效應
非導電樣品在電子束轟擊下會積累電荷,造成電子逸出不均:
可能出現(xiàn)局部過亮(電子積聚,增強信號)。
或者過暗(電荷排斥入射電子,信號減弱)。
4. 電子束與樣品的入射角
電子束傾斜入射或樣品表面角度不同,也會影響信號采集。傾斜表面往往有更高的二次電子產(chǎn)額,看起來更亮。
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作者:澤攸科技
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