在掃描電鏡里，樣品表面出現(xiàn) 充電現(xiàn)象主要是因?yàn)闃悠?導(dǎo)電性不足，電子束打到樣品表面后，電荷不能及時(shí)導(dǎo)走，在局部累積造成的。具體原因可以分幾類：

樣品本身是絕緣體或低導(dǎo)電材料

比如高分子、有機(jī)物、陶瓷、玻璃等，這些材料幾乎不能傳導(dǎo)電子，電子束轟擊后容易在表面積聚。

表面電子逸出與注入不平衡

掃描電鏡成像依賴二次電子、背散射電子信號(hào)。如果樣品接受的電子束電流大于逸出的電子電流，電荷就會(huì)堆積。

樣品接地不良

即便是金屬，如果與樣品臺(tái)接觸不緊密，也會(huì)導(dǎo)致電荷無(wú)法流走，從而局部帶電。

高束流、高加速電壓條件

束流強(qiáng)、加速電壓高時(shí)，入射電子數(shù)大大增加，更容易形成電荷堆積。

充電的后果

圖像出現(xiàn)局部過(guò)亮或過(guò)暗，甚至漂移、閃爍。

圖像細(xì)節(jié)丟失，分辨率下降。

在嚴(yán)重情況下，會(huì)導(dǎo)致束斑不穩(wěn)定，無(wú)法成像。

常見(jiàn)的解決方法

給非導(dǎo)電樣品 噴鍍金、碳，提高導(dǎo)電性。

使用 低加速電壓、減小束流，降低電荷積累。

保證樣品與樣品臺(tái) 良好導(dǎo)電接觸。

采用低真空 SEM 模式，利用氣體分子電離中和電荷。