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掃描電鏡圖像采集過程中可以實(shí)時(shí)調(diào)參嗎?

日期:2025-07-30

掃描電鏡(SEM)圖像采集過程中是可以實(shí)時(shí)調(diào)參的,而且這是實(shí)際操作中非常重要的一部分。操作員通常會(huì)在觀察圖像的同時(shí),實(shí)時(shí)調(diào)整參數(shù)來優(yōu)化成像效果。

可以實(shí)時(shí)調(diào)整的主要參數(shù)包括:

1. 焦距

實(shí)時(shí)調(diào)整以獲取清晰圖像;

常配合放大倍數(shù)同步微調(diào)。

2. 像差校正

用于修正電子束的非對(duì)稱模糊;

實(shí)時(shí)調(diào)整,改善圖像清晰度,尤其在高倍率下非常關(guān)鍵。

3. 工作距離

可通過調(diào)整樣品臺(tái)高度(Z 軸)或電鏡柱的位置進(jìn)行;

會(huì)影響圖像清晰度、景深和分辨率,實(shí)時(shí)微調(diào)以找適合焦面。

4. 加速電壓

實(shí)時(shí)切換不同電壓(如 1 kV、5 kV、10 kV)觀察材料不同深度或抑制帶電;

影響圖像穿透力、對(duì)比度和信號(hào)強(qiáng)度。

5. 探測器切換與信號(hào)通道選擇

實(shí)時(shí)切換 SE(次級(jí)電子)/ BSE(背散射電子)/ EDS 等通道;

比較不同圖像效果,選擇適合的成像方式。

6. 對(duì)比度與亮度

實(shí)時(shí)調(diào)整增強(qiáng)圖像可視性;

不影響實(shí)際圖像結(jié)構(gòu),但會(huì)改善觀察體驗(yàn)。

7. 掃描速度或積分模式

快速掃描用于快速定位;

慢速掃描用于最終采圖,可實(shí)時(shí)切換觀察圖像變化。

8. 放大倍數(shù)

可連續(xù)調(diào)節(jié)放大倍數(shù),邊觀察邊調(diào)整焦點(diǎn)與像差。

9. 電子束偏轉(zhuǎn)

實(shí)時(shí)調(diào)整圖像位置,使目標(biāo)居中,方便觀察或拍照。


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作者:澤攸科技