掃描電鏡掃描時出現(xiàn)干擾條紋是什么原因?
日期:2025-08-01
掃描電鏡(SEM)成像時出現(xiàn)干擾條紋,通常是由于外部干擾、電氣系統(tǒng)異常或樣品問題引起的。這些條紋可能呈現(xiàn)為周期性橫紋、斜紋、閃爍或拖影,嚴(yán)重時會嚴(yán)重影響圖像清晰度和分辨率。
下面是常見原因及對應(yīng)解釋:
一、外部電磁干擾
1. 電源干擾
由實驗室供電不穩(wěn)定、接地不良、電壓波動引起;
表現(xiàn)為周期性條紋或圖像閃動;
尤其在與 SEM 共用線路的設(shè)備(如壓縮機、熒光燈)啟動時更明顯。
2. 強電設(shè)備干擾
SEM 附近存在大功率電機、空調(diào)、電焊機、離子泵等;
這些設(shè)備產(chǎn)生的電磁場可干擾掃描系統(tǒng);
可能出現(xiàn)周期性水平條紋或模糊斜線。
3. 無線信號/手機干擾
高靈敏度 SEM 對附近手機、Wi-Fi 或無線電波也可能敏感;
干擾條紋多為不規(guī)則閃動或圖像跳動。
二、掃描控制系統(tǒng)問題
1. 掃描信號不穩(wěn)定
若主板或控制模塊的模擬信號通道不穩(wěn)定,可能導(dǎo)致圖像出現(xiàn)周期性擾動;
常見于老舊設(shè)備或長期運行后的電子控制老化。
2. 接地不良
設(shè)備接地線松動或電勢不均,會引起電子束不穩(wěn)定;
圖像可能出現(xiàn)類似“波紋”或拉伸。
3. 電纜接觸不良
探測器線纜松動、屏蔽破損或插頭接觸不良,會引發(fā)圖像干擾;
條紋可能隨時間變化而閃爍或變寬。
三、樣品因素
1. 樣品帶電
不導(dǎo)電樣品或未噴鍍導(dǎo)電層的樣品,易積累電荷,導(dǎo)致電子束偏轉(zhuǎn);
會出現(xiàn)不規(guī)則的亮暗條紋、波動或“拖影”;
特別是在放大倍率較高時更明顯。
2. 樣品移動或不穩(wěn)定
樣品未固定牢固,在掃描時輕微振動;
圖像條紋可能伴隨輕微“錯位”或重復(fù)重影。
四、環(huán)境振動干擾
SEM 對微小振動非常敏感;
若地面不穩(wěn)、臺架無減振、鄰近有震動源(如走動、升降梯),可能導(dǎo)致條紋或圖像漂移。
作者:澤攸科技