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掃描電鏡圖像變亮或過曝怎么辦?

日期:2025-08-04

當(dāng)掃描電鏡(SEM)圖像變亮或出現(xiàn)過曝現(xiàn)象時(shí),說明圖像中部分區(qū)域亮度過高,導(dǎo)致細(xì)節(jié)丟失、圖像偏白或泛光。造成這種現(xiàn)象的原因多種多樣,以下是常見原因及對(duì)應(yīng)的處理方法:

常見原因及處理方法

1. 電子束電流過高

原因:電子束電流設(shè)置太大,信號(hào)強(qiáng)度過強(qiáng),圖像亮度異常。

處理:適當(dāng)調(diào)低 電子束電流(Beam Current) 或 **亮度(Brightness)設(shè)置。

2. 探測(cè)器增益設(shè)置過高

原因:二次電子探測(cè)器或背散射探測(cè)器的增益(Gain)過高。

處理:降低探測(cè)器增益或?qū)Ρ榷仍O(shè)置,避免圖像信號(hào)被放大過多。

3. 工作距離不當(dāng)

原因:工作距離(WD)過近導(dǎo)致信號(hào)強(qiáng)度集中,成像局部過亮。

處理:適當(dāng)增加工作距離,使電子束在樣品上的掃描范圍更合理。

4. 樣品帶電

原因:非導(dǎo)電樣品未噴金或接地不好,電荷積聚導(dǎo)致電子束散射不均勻,局部放電發(fā)亮。

處理:

預(yù)先噴鍍一層導(dǎo)電材料(如金、碳);

使用低真空模式或環(huán)境 SEM;

在樣品背面用導(dǎo)電膠接地。

5. 曝光時(shí)間過長(Slow scan)

原因:長時(shí)間掃描可能造成部分像素過曝。

處理:選擇適中或快速掃描模式,避免局部區(qū)域曝光過度。

6. 樣品局部高反射/高原子序

原因:金屬顆?;蚋咴有蛟貐^(qū)域反射信號(hào)強(qiáng),造成圖像局部過亮。

處理:

適當(dāng)降低放大倍率查看整體結(jié)構(gòu);

或使用背散射電子圖像代替觀察。


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作者:澤攸科技